高溫電爐(lú)真空係統
高溫電爐中直空係統適用(yòng)幹真空度在3X10~~1333Pa範圍的真空熱處
理爐。中真空係統在(zài)真空熱處理爐中應用最廣泛,其通常由兩級(jí)真空
泵機(jī)組組成。初(chū)級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵,主泵為機械
增壓泵(羅茨泵)或油(yóu)增壓泵
高溫電爐(lú)高真空係(xì)統
高真空係統(tǒng)適(shì)用於真空度在6.6x10~~1333X10。Pa範圍的
高溫電爐真空熱處理爐(lú),如真空退火爐、真空釺焊爐,通常由三級真空(kōng)泵機組(zǔ)
組成,主泵通常采用油擴散泵、離子泵,初級泵(bèng)大都(dōu)也是采用旋轉機
械泵或滑閥式機械泵。
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